設(shè)備裝配過程(1) |
這是我公司近期的一個定制項目,為客戶定做了一臺真空鍍膜機(jī)。本實驗設(shè)備適用于鍍制各種多層光學(xué)薄膜和電學(xué)膜,是有關(guān)工廠、研究院和大專院校進(jìn)行生產(chǎn)和科研的理想設(shè)備。
設(shè)備裝配過程(2) 本設(shè)備采用箱式結(jié)構(gòu),抽氣系統(tǒng)后臵,便于拆卸和維修。整機(jī)表面平整,便于清潔,適合凈化間安裝。蒸發(fā)室全部采用不銹鋼制造,外有可通冷、熱水的護(hù)罩,可對壁進(jìn)行加熱(熱水器選配)或冷卻。閥門采用氣動,操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設(shè)計為一整體。蒸發(fā)室抽氣口也設(shè)臵一光學(xué)密封機(jī)械擋板,因此可使蒸發(fā)室的油污染降低到極低的程度。本設(shè)備配備的抽氣元件抽速較大,因此具有抽氣時間短,工作真空度高,生產(chǎn)周期短等特點。
完工后的設(shè)備 主要技術(shù)參數(shù) 1)真空,極限真空:2×10-4Pa 2)恢復(fù)真空,從大氣→2×10-3Pa≤10min
3)蒸發(fā)室,腔體尺寸:500x500x700 4)工件夾具:外徑φ100mm
5)夾具轉(zhuǎn)速:N=9-300rpm 6)電源:220v/50Hz
7)總功率:3kw 8)溫濕度數(shù)據(jù)記錄頻率:1次/分(容量>6小時)
9)手動排氣閥直徑:25mm 10)頂部機(jī)械壓力表測量范圍:-0.1Mpa-0
11)平板電極材質(zhì):紫銅(300x300x2) 12)膜厚測試儀測量范圍:20nm-1μm
13)起泡器溫控精度:±0.5℃ 14)起泡器外接接口尺寸:1/4寸 |
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